2024-11-27
Электронные характеристики полупроводниковых материалов: «кровь» производства полупроводников
В промышленности газообразные продукты при нормальной температуре и давлении в совокупности называются промышленными газовыми продуктами. В зависимости от различных методов подготовки и областей применения промышленные газы можно разделить на объемные газы и специальные газы. Объемные газы в основном включают кислород, азот, аргон и другие газы, получаемые путем разделения воздуха, а также ацетилен, углекислый газ и другие синтетические газы. Специальные газы в основном включают электронные газы, газы высокой чистоты и стандартные газы.
Электронный специальный газ (электронный специальный газ) является высокотехнологичным продуктом с высокой добавленной стоимостью, который широко используется в полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Электронный специальный газ в основном включает гидриды, фториды, фторалканы, металлоорганические соединения и т. д., которые являются незаменимым важным материалом для производства сверхбольших интегральных схем, плоских дисплеев, устройств на основе сложных полупроводников, солнечных батарей, оптического волокна и других электронных компонентов. Электронный специальный газ широко используется в производстве пленок, травлении, легировании, осаждении из паровой фазы, диффузии и других процессах при производстве интегральных схем и дисплеев.
Качество электронного газа в основном зависит от его чистоты и прозрачности. В целом, требования к чистоте электронного газа достигают 5N-6N (N обозначает число 9 в процентах чистоты, например, 5,7N означает 99,9997%, 6N означает 99,9999%), при этом также требуется очистка металлических элементов до уровня 10-9 - 10-12. Каждое увеличение чистоты на N и каждое уменьшение концентрации частиц и металлических примесей на порядок значительно увеличивают сложность и трудность процесса. Если чистота или прозрачность электронного газа не соответствуют стандарту, легкие частицы приводят к несоответствию качества конечного продукта стандарту, а тяжелые частицы распространяют загрязнение по всей линейке продуктов, в результате чего все продукты выбрасываются.
Благодаря своей важной роли в производстве электронной промышленности, такой как полупроводники, электронный газ известен как «кровь» электронной промышленности.
